1. 目的

　　制訂電源車間高效過濾器的檢漏標準操作規(guī)程

　　2. 適用范圍

　　本標準適用于潔凈廠房高效過濾器泄漏的檢查

　　3. 職責

　　質量控制部：負責電源無塵車間內部潔凈廠房高效過濾器檢漏

　　4.內容

　　4.1. 測試方法：塵埃粒子計數掃描巡檢法

　　4.2. 測試范圍：層流或亂流潔凈區(qū)/室。包括：層流工作臺，生產車間各功能間的高效過濾器，必須在現場對以下部位進行掃描巡查：

　　4.2.1. 高效過濾器的濾材

　　4.2.2. 高效過濾器的濾材與其框架內部的連接

　　4.2.3. 高效過濾器框架的密封墊和過濾器組支撐架之間的連接

　　4.2.4. 高效過濾器支撐框架和墻壁或頂棚之間的連接

　　4.3. 檢測儀器

　　塵埃粒子計數器

　　4.4. 原理

　　根據浮游粒子在一定強度的光照射下所散射出與其粒徑成一定比例關系的光通量原理，粒子散射光經光電轉換變成電信號，經放大和計算機處理后被顯示器顯示粒子當量直徑和相應粒子數量

　　4.5. 檢測程序

　　4.5.1.使用大氣塵進行檢漏，當用大氣塵檢漏時，過濾器上游濃度(0.5μm)應不小于4000粒/L。如上游濃度達不到規(guī)定要求時應采用適當措施，增加上游濃度。

　　4.5.2. 用塵埃粒子計數器采樣頭掃描過濾器的出風側。采樣頭離過濾器距離約2cm-3cm處，掃描速度宜為1.5cm/s(28.3L/min)

　　4.5.3. 采樣管的長度不應超過0.5m。

　　4.5.4. 掃描檢漏時應拆去高效過濾器外的孔板或裝飾層。

　　4.5.5. 掃描檢漏時，若塵埃粒子計數器顯示出非零的特征讀數，則表示可能有漏泄，應把采樣口停在漏泄處1min，確定讀數是否大于等于3粒，如大于等于3粒則判漏，如未達到3粒則判為不漏。

　　4.5.6. 高效過濾器更換或處理后，應再次進行掃描巡檢。

　　4.6. 檢測頻度

　　4.6.1. 在安裝或更換高效過濾器時應進行檢測。

　　4.6.2. 正常使用情況下，每年至少檢測一次。